生物反应器中的气体供应及控制

在气体燃烧、载气及气体采样过程中控制气体...

成膜、控制气体

控制H2与O2的流量以控制燃烧产生预制棒

在气相沉积/扩散/晶体生长等过程中精确控...

在功能镀膜和玻璃镀膜沉积过程中控制气体